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磁控溅射脉冲电源

产品名称:磁控溅射脉冲电源

产品类别:按行业应用分类

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产品详情
产品简介: 
磁控溅射脉冲电源其正负脉冲的幅值、频率、占空比均可独立连续可调整,适合于镀制碳化物、氧化物、氮化物等膜层。 
 
技术指标:
1.交流输入:单相220VAC、三相380VAC
2.功率因数:≥0.99(小功率电源)  ≥0.92(大功率电源)
3.效率:≥0.82
4.输出空载电压:≥±600V
5.输出工作电压:0~±500V连续可调
6.输出电流:1A~160A,分10种规格:1KW、2KW、5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、75KW、100 KW、200KW
7.工作方式:恒流、恒压、恒功率任选
8.控制方式:7寸液晶触摸屏+远程RS485计算机通信(MODBUS通信协议)
9.输出频率:20KHz~80KHz 连续可调
10.占 空 比:5~90%分别连续可调
11.输出波形:单极正向直流、负向直流、正向脉冲、负向脉冲、对称双极正负脉冲、非对称双极脉冲
12.稳流精度:≤1%
13.环境温度:-10℃~40℃
14.冷却方式:风冷、水冷

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